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        6. 交流阻抗電容計與交流阻抗參數(shù)的測量方法
          • 發(fā)布時間:2020-07-30 17:40:56
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          交流阻抗電容計與交流阻抗參數(shù)的測量方法
          交流阻抗表[1],也稱為LCR表[2](電感[L]、電容[C]、電阻[R]),利用一個自動平衡電橋保持電容的檢測端交流假接地,從而測量復阻抗。這類電表通常的頻率范圍為1kHz到10MHz。
          交流阻抗電容
          交流電源、交流伏特計、交流安培計
          圖1.交流阻抗表
          這類電表(如圖1所示)工作原理相對簡單。它通過在高電流輸出端(HCUR)施加一個交流電壓來測量交流阻抗[3]。通過低電流端(LCUR)測量流過器件的電流,通過高低電位端(HPOT和LPOT)測量器件上的電壓降。電壓和電流的測量采用了能夠精確判斷二者之間相位角的鎖相方式[4]。通過測量幅值和相位角,就可以計算出任意所需的交流阻抗參數(shù)。
          交流阻抗電容
          其中:
          Z=阻抗
          θ=相位角
          R=電阻
          X=電抗
          Y=導納
          G=電導
          B=電納
          Z、θ——阻抗與相位角
          R+jX——電阻與電抗
          Cp-Gp——并聯(lián)電容和電導
          Cs-Rs——串聯(lián)電容和電阻
          Cp-D——并聯(lián)電容和耗散因子
          Cs-D——串聯(lián)電容和耗散因子
          圖2.基本的交流阻抗參數(shù)
          要得到基本交流阻抗參數(shù)就必須測量阻抗的幅值,在圖2中表示為“Z”。還需要測量電流和電壓之間的相位角,表示為θ。因此,在極坐標方式下,這一阻抗就是相角為θ的Z。但我們還可以從數(shù)學上將其轉(zhuǎn)化為直角坐標的形式,即表示為R+jX。其中R是實數(shù)部分,即同相阻抗矢量,jX是虛數(shù)部分,即相位阻抗矢量偏轉(zhuǎn)90°,它也是電容矢量。我們甚至可以從數(shù)學上將極坐標和直角坐標形式轉(zhuǎn)化為實際的電容和電阻值。
          有兩種常用的交流阻抗模型:并聯(lián)模型和串聯(lián)模型。在并聯(lián)模型中,結(jié)果表示為并聯(lián)電容(Cp)和并聯(lián)電導(Gp)。在串聯(lián)模型中,結(jié)果表示為串聯(lián)電容(Cs)和串聯(lián)電阻(Rs)。耗散因子(D),即實阻抗與虛阻抗的比值,是從數(shù)學上推導出的另外一個常用參數(shù)。當測量晶圓上的電容時,我們通常要看耗散因子,因為它是判斷最終C-V測量質(zhì)量的最佳指標。無論采用哪種交流阻抗模型,耗散因子都很容易計算出來。
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